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机械干式真空泵的几个应用行业

2022-10-03 13:31:24
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    1)机械干式真空泵可以用于多晶硅在低压化学气相沉积中的制备工艺;

  2)机械干式真空泵可以用于半导体腐蚀工艺。腐蚀性气体和研磨颗粒经常用于这些生产工艺;

  3)除半导体工艺外,部分产生颗粒的工艺不希望颗粒与泵油混合,但希望颗粒排出泵,一定类型的干机械真空泵能满足要求;

  4)蒸馏、干燥、脱泡、包装等。在化工、医药、食品等行业,应防止有机溶剂污染,适用于干真空泵;

  5)用作一般无油清洗真空系统的前泵,防止油污染。

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